| 半导体激光器列阵器件光束复合研究 |
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| 引用本文： | 柳瑞丛,刘媛媛,陈雪,杨富华.半导体激光器列阵器件光束复合研究[J].半导体学报,2015,36(4):044008-4. |
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| 作者姓名： | 柳瑞丛 刘媛媛 陈雪 杨富华 |
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| 基金项目： | 硅基混合集成的微芯片激光器相关基础研究 |
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| 摘 要： | 文中针对半导体激光器列阵的波长复合和偏振复合技术开展了设计和实验研究。首先利用半导体材料波长易调节的特点，设计了AlGaInAs/GaAs/AlGaAs压应变量子阱结构，得到了760nm、800nm、860nm、930nm、976nm五个波长激射的半导体列阵激光器，同时设计了四个短波通滤波片参数，开展了半导体列阵激光器的多波长光束复合技术的实验研究；其次利用1/2波片和偏振复合棱镜将两束不同偏振状态的光束进行了复合，并设计了光束聚焦系统。最终实现了5个波长，10条半导体激光器列阵的光束复合，得到了196W的激光功率输出，总体效率为76%，其中，波长复合效率可以达到92.4%，输出聚焦光斑尺寸为144μm×1 330μm，聚焦光功率密度达到1.02×105W/cm2，与单条半导体激光器列阵相比，合束光的光功率密度提高了4.3倍。
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| 关 键 词： | compressive strain diode laser arrays beam multiplexing edge filter polarizing composite |
Beam multiplexing of diode laser arrays |
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| Liu Ruicong,Liu Yuanyuan,Chen Xue and Yang Fuhua.Beam multiplexing of diode laser arrays[J].Chinese Journal of Semiconductors,2015,36(4):044008-4. |
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| Authors: | Liu Ruicong Liu Yuanyuan Chen Xue and Yang Fuhua |
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| Institution: | Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | compressive strain diode laser arrays beam multiplexing edge filter polarizing composite |
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