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高密度LOCOS隔离的CMOS器件隔离

引用本文：	Lewis,AG 李宗亚.高密度LOCOS隔离的CMOS器件隔离[J].江南半导体通讯,1992,20(6):82-89,107.

作者姓名：	Lewis AG 李宗亚

摘要：
关键词：	集成电路 CMOS器件隔离
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