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采用离子注入通道工艺的电路设计及其特点的探讨
引用本文:周承云,王鸿滨.采用离子注入通道工艺的电路设计及其特点的探讨[J].江南半导体通讯,1992,20(4):60-62.
作者姓名:周承云  王鸿滨
摘    要:

关 键 词:离子注入  通道  集成电路  电路设计
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