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| 新型结构的1.3μmGexSi1—x／SiMQW波导探测器的优化设计 | |
| 引用本文： | 刘育梁,杨沁清.新型结构的1.3μmGexSi1—x／SiMQW波导探测器的优化设计[J].半导体学报,1996,17(9):667-673. |
| 作者姓名： | 刘育梁 杨沁清 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 本首次提出了一种新型的环形ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ波导探测器结构，器件的主体由３μｍ宽的环形波导构成，器件的输入端是８μｍ宽的波导，这两部分通过劈形波导过渡连接，各部分经过优化设计，可以同时实现高的耦合效率和高内量子效率，对于器件的材料结构，电学和光学特性进行了仔细的分析与设计，结果表明，优化设计的器件其外量子效率可达２８％，比已经报道的直波导探测器的外量子效率提高２－３倍，而上升下降时间仍然保持 |
| 关 键 词： | 硅化锗 硅 多量子阱 波导探测器 优化设计 |
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