|
|||||
|
|
| LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究 | |
| 引用本文： | 赵善麒,徐宝琨,赵慕愚,彭作岩,才宏,邢建力.LaFeO_3 栅膜 FET 气体传感器的研究[J].半导体学报,1994,15(2):145-148. |
| 作者姓名： | 赵善麒 徐宝琨 赵慕愚 彭作岩 才宏 邢建力 |
| 摘 要： | 本文采用溶胶－凝胶技术制备ＬａＰｅＯ３纳米晶薄膜，并摸索出该薄膜的光刻方法，将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结合，首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器，它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性． |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载免费的PDF全文 | |