| 一种集成三维微力传感器的微夹持器研制 |
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| 引用本文： | 荣伟彬,谢晖,王家畴,孙立宁,陈伟.一种集成三维微力传感器的微夹持器研制[J].压电与声光,2007,29(2):175-178. |
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| 作者姓名： | 荣伟彬 谢晖 王家畴 孙立宁 陈伟 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);教育部长江学者和创新团队发展计划 |
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| 摘 要： | 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10~ 10 mN,在x、y向的分辨率均为2.4μN,z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压电陶瓷驱动两级柔性放大机构,实现张合量300μm,完成了微夹持实验。
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| 关 键 词： | 微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验 |
| 文章编号： | 1004-2474(2007)02-0175-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-01 |
Development of a Micro-gripper Integrating Tri-axial Force Sensor |
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| RONG Wei-bin,XIE Hui,WANG Jia-chou,SUN Li-ning,CHEN Wei.Development of a Micro-gripper Integrating Tri-axial Force Sensor[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2007,29(2):175-178. |
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| Authors: | RONG Wei-bin XIE Hui WANG Jia-chou SUN Li-ning CHEN Wei |
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| Institution: | Robotics Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-gripper tri-axial micro-force sensor piezoresistive detection calculation experiment |
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