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溶胶-凝胶法制备Si基ZnO薄膜的光伏特性
作者姓名:郭晓雷  赵娇玲  田秦冠  熊定康  黄宇阳  邓文
作者单位:广西大学物理科学与工程技术学院;
基金项目:广西自然科学基金重点项目(2010GXNSFD013036);广西大学研究生科研创新项目(GXUllT32596)
摘    要:用溶胶-凝胶法在P型半导体Si(100)基片上生长了具有六角晶形的ZnO薄膜。SEM和XRD显示,C轴择优取向性明显,薄膜生长质量较好。ZnO薄膜的光致发光谱不仅有384.2nm的紫外波峰(FWHM=20.3nm),而且还有649.2nm的红光波峰(FWHM=214nm),两峰相对高度比为0.934。用波长为632.8nm的氦氖激光照射ZnO薄膜的表面,产生了明显的光伏效应。

关 键 词:ZnO薄膜  溶胶-凝胶法  光伏特性
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