| 螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断 |
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| 引用本文： | 罗利霞,计晶晶,马淑一.螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断[J].原子与分子物理学报,2013,30(4). |
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| 作者姓名： | 罗利霞 计晶晶 马淑一 |
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| 作者单位： | 包头医学院,包头,014040 |
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| 基金项目： | 中国工程研究院基金重大项目 |
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| 摘 要： | 利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Ha及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况.结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小；随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的.
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| 关 键 词： | 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 甲烷 |
Spectrum diagnosis of the methane plasmaexcited by helicon-wave |
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| LUO Li-Xia
,
JJ Jing-Jing
,
MA Shu-Yi.Spectrum diagnosis of the methane plasmaexcited by helicon-wave[J].Journal of Atomic and Molecular Physics,2013,30(4). |
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| Authors: | LUO Li-Xia JJ Jing-Jing MA Shu-Yi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | spectrum diagnosis helicon-wave plasma chemical vapor deposition methane |
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