| 酸分解高分子的新进展 |
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| 引用本文： | 余尚先 顾江楠. 酸分解高分子的新进展[J]. 高分子通报, 1990, 0(4): 205-212 |
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| 作者姓名： | 余尚先 顾江楠 |
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| 作者单位： | 北京师范大学应用化学研究所，北京师范大学应用化学研究所 北京 100875，北京 100875 |
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| 摘 要： | 本文综述了80年代酸分解高分子的进展,并对其作了详细分类。以其不同的结构特征阐明了它们的酸解机理。本文还对酸解高分子用于成像材料、特别是化学增幅抗蚀剂的前景作了展望。
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| 关 键 词： | 酸分解高分子 化学增幅 抗蚀剂 |
Recent Progress on Acidolysis Polymers |
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| Yu Shangxian and Gu Jiangnan. Recent Progress on Acidolysis Polymers[J]. Polymer Bulletin, 1990, 0(4): 205-212 |
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| Authors: | Yu Shangxian and Gu Jiangnan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Acidolysis polymer Chemical amplification resist Acidolysis mechaniam Photoresist |
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