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| 激光分子束外延和关键技术研究 | |
| 引用本文： | 杨国桢,吕惠宾,陈正豪,崔大复,王会生,杨海清,缪风英,周岳亮,李林.激光分子束外延和关键技术研究[J].中国科学A辑,1998,41(3):260-265. |
| 作者姓名： | 杨国桢 吕惠宾 陈正豪 崔大复 王会生 杨海清 缪风英 周岳亮 李林 |
| 作者单位： | (1)中国科学院物理研究所 北京100080 (2)中国科学院凝聚态物理中心,北京100080 (3)国家超导实验室,北京100080 |
| 摘 要： | 较为系统地介绍了一台激光分子束外延的总体结构和关键技术研究 .同时使用该设备和技术 ,实现精确控制原子尺度外延生长 ,获得原子尺度光滑表面的氧化物外延薄膜等实验结果 . |
| 关 键 词： | 激光分子束外延 超高真空 实时监控 原子尺度外延生长 |
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