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| 纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件 | |
| 引用本文： | 李家方.纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件[J].物理,2021(4). |
| 作者姓名： | 李家方 |
| 摘 要： | 随着纳米制造技术的发展,微机电系统与纳米光子技术相结合,形成了国际前沿的纳米光机电系统(NOEMS),在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛.但重构单元的小型化与提高调制深度之间不能兼顾,这大大限制了光机电调制的对比度,并导致亚微米像素的空间光调制存在技术瓶颈.最近,北京理工大学李家方、张向东、姚裕贵教... |
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