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PG15—J3型激光平面干涉仪

作者单位：	中国科学院上海光机所工厂

摘要：	仪器的工作直径为φ146毫米。仪器配有三块标准平面镜, 第一标准镜的精度为0.02微米(λ/30),第二、三标准镜的精度为0.03微米(λ/20)。仪器有He-Ne激光、钠光和贡光三种光源,可随意
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