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| 微细加工技术与设备 | |
| 摘 要： | TN305.7 2004010743 光栅干法刻蚀与湿法刻蚀的研究=Research on dry-etching gratings and wet-etching gratings刊,中]/罗飚(武汉邮电科学研究院.湖北,武汉(430074)),陈永诗…∥光学与光电技术.—2003,1(1).—54-56 分别就光栅的制作中的两种方法—湿法和干法的实 |
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