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| 旋转体自身驱动的硅微机械陀螺 | |
| 引用本文： | 张福学,毛 旭,张 伟.旋转体自身驱动的硅微机械陀螺[J].工程科学,2006,8(8):23-27. |
| 作者姓名： | 张福学 毛 旭 张 伟 |
| 作者单位： | 北京信息工程学院传感技术研究中心 北京 100101;北京信息工程学院传感技术研究中心 北京 100101;北京信息工程学院传感技术研究中心 北京 100101 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60472011)；北京市传感器重点实验室资助项目(4032010) |
| 摘 要： | 报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明，该陀螺结构原理正确，可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度，以及旋转体自身的角速度。 |
| 关 键 词： | 硅 各向异性腐蚀 角速度 仿真器 |
| 修稿时间： | 1/4/2006 12:00:00 AM |
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