| 低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索 |
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| 引用本文： | 许颖,励旭东,王文静,于元,赵玉文,沈辉.低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索[J].发光学报,2003,24(3):301-304. |
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| 作者姓名： | 许颖 励旭东 王文静 于元 赵玉文 沈辉 |
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| 作者单位： | 1. 北京市太阳能研究所,北京,100083
2. 中国科学院广州能源所,广东,广州,510070 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划资助项目(G2000028208) |
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| 摘 要： | 在低成本、两种纯度的P^ 颗粒硅带衬底(SSP)上，采用RT化学气相沉积(CVD)技术制备了多晶硅薄膜电池。无论高纯硅粉还是低纯硅粉制备的SSP衬底杂质含量都很高且表面凹凸不平；采用4μm／min的沉积速率和钝化作用得到了高质量外延多晶硅薄膜。通过扩散工艺制成的多晶硅薄膜太阳电池的转换效率分别为6．25％(高纯硅粉制成的SSP衬底)和4．5％(低纯硅粉制成的SSP衬底)。
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| 关 键 词： | 多晶硅薄膜电池 太阳电池 颗粒硅带 扩散工艺 化学气相沉积 低成本衬底 光伏电池 |
| 文章编号： | 1000-7032(2003)03-0301-04 |
Polycrystalline Silicon Thin Film Solar Cells on Low Cost Substrates |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | crystalline silicon thin film solar cells |
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