| PID神经元网络在单晶硅提拉速度控制系统中的应用研究 |
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| 引用本文： | 史军,任丽静,王宗刚,万健如.PID神经元网络在单晶硅提拉速度控制系统中的应用研究[J].石河子大学学报,2008,26(2):245-248. |
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| 作者姓名： | 史军 任丽静 王宗刚 万健如 |
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| 作者单位： | [1]河西学院机电工程系,甘肃张掖734000 [2]河北化工医药职业技术学院机电工程系,河北石家庄050026 [3]天津大学电气与自动化工程学院,天津300072 |
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| 摘 要： | 在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义.本文通过分析晶体结晶过程的热量运输,得出了单晶硅提拉过程中影响其质量问题的主要因素,提出了将PID神经元网络应用于单晶硅提拉速度控制系统中的方法,形成PID神经元网络提拉系统,建立了基于MATLAB/SIMULINK下的PID神经元网络控制系统模型,通过仿真结果表明,该系统对改善单晶硅的质量具有一定的实际意义.
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| 关 键 词： | 单晶硅 提拉速度控制 PID神经元网络 神经元 网络控制 单晶硅 速度控制系统 网络应用 研究 Speed Control System Monocrystalline Silicon Network Neurons Studies 改善 仿真结果 系统模型 SIMULINK MATLAB 提拉系统 方法 因素 质量问题 |
Application Studies of PID Neurons Network in Monocrystalline Silicon Pulling Speed Control System |
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| SHI Jun,REN Li-jing,WANG Zong-gang,WAN Jian-ru.Application Studies of PID Neurons Network in Monocrystalline Silicon Pulling Speed Control System[J].Journal of Shihezi University(Natural Science),2008,26(2):245-248. |
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| Authors: | SHI Jun REN Li-jing WANG Zong-gang WAN Jian-ru |
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