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| MBE Al源炉升温和降温工艺探讨 | |
| 引用本文： | 武一宾,张文俊,张允清,柏亚青,崔立奇,李明杰,周章文.MBE Al源炉升温和降温工艺探讨[J].微纳电子技术,1991(6). |
| 作者姓名： | 武一宾 张文俊 张允清 柏亚青 崔立奇 李明杰 周章文 |
| 作者单位： | 机电部第13所 石家庄 050051 |
| 摘 要： | 分析了在-196～660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩埚破裂的影响并不明显。 |
| 关 键 词： | 分子束外延 坩埚 热应力 |
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