| 一种解耦的微机械陀螺研究 |
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| 引用本文： | 王元山,王寿荣,许宜申. 一种解耦的微机械陀螺研究[J]. 中国惯性技术学报, 2006, 14(4): 56-58 |
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| 作者姓名： | 王元山 王寿荣 许宜申 |
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| 作者单位： | 东南大学,仪器科学与工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 设计了一种解耦的微机械陀螺，它能够极大地降低正交误差信号的影响，从而大大地提高佗螺的性能；制造了一批样机，进行了初步的驱动特性和敏感特性的实验研究。研制结果表明，陀螺性能符合设计要求。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微机械加工 陀螺 解耦 |
| 文章编号： | 1005-6734(2006)04-0056-03 |
| 收稿时间： | 2006-05-22 |
| 修稿时间： | 2006-05-22 |
Research on decoupled micromachined gyroscope |
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| WANG Yuan-shan,WANG Shou-rong,XU Yi-shen. Research on decoupled micromachined gyroscope[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2006, 14(4): 56-58 |
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| Authors: | WANG Yuan-shan WANG Shou-rong XU Yi-shen |
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| Abstract: | A new decoupled micromachined gyroscope with decreasing cross-coupling errors is designed and tested. A batch of prototype gyro is manufactured and the preliminary experiment study on driving and sensing features is implemented. It indicates that the gyroscopes run in expected mode. |
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| Keywords: | MEMS micromachined gyroscope decoupled |
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