| Zr（Y）O2衬底上大面积YBCO薄膜表面组织状态的研究 |
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| 引用本文： | 王瑞坤 孙丽虹. Zr（Y）O2衬底上大面积YBCO薄膜表面组织状态的研究[J]. 中国稀土学报, 1996, 14(2): 137-141 |
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| 作者姓名： | 王瑞坤 孙丽虹 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 |
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| 摘 要： | 使用配备有ＥＤＳ和ＥＣＰ附件的ＳＥＭ、ＡＥＭ、和ＳＴＭ研究在７５０和８００℃的Ｚｒ（Ｙ）Ｏ２衬底上磁控溅射沉积的大面积ＹＢＣＯ超导薄膜的表面组织。ＹＢＣＯ薄膜为ｃ轴取向单晶，但衬底温度为８００℃时，膜表面的突出组织多为ＣｕＯ颗粒，小坑较多，表面粗糙；衬底温度为７５０℃时，突出组织多为棒状和多边形１２３结构，很少小坑，表面较平整。
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| 关 键 词： | 形貌 超导体 薄膜 组织结构 YBCO |
Study on Morphology of Surface of Large Area YBCO Thin Films on Zr(Y)O_2 Substrate |
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| Wang Ruikun, Sun Lihong, Liu Hongfei, Wang Xiaoping, Yang Bingchuan. Study on Morphology of Surface of Large Area YBCO Thin Films on Zr(Y)O_2 Substrate[J]. Journal of the Chinese Society of Rare Earths, 1996, 14(2): 137-141 |
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| Authors: | Wang Ruikun Sun Lihong Liu Hongfei Wang Xiaoping Yang Bingchuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Yba_2Cu_3O_y Thin film Surface Morphology |
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