| 基于LabView的调焦伺服控制系统 |
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| 引用本文： | 刘洋,熊木地,高嵩.基于LabView的调焦伺服控制系统[J].现代电子技术,2007,30(6):188-190. |
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| 作者姓名： | 刘洋 熊木地 高嵩 |
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| 作者单位： | 大连海事大学信息工程学院光电研究所,辽宁大连,116023 |
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| 摘 要： | 为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度,对光探头调焦系统进行了研究。提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法。其中,详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理,分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大,杂散光干扰以及对称性差等问题。最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT(压电陶瓷)的过程。整个系统经实地验证,取得了良好的效果,精度可达到0.2μm。
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| 关 键 词： | 二元光学激光直写设备 压电陶瓷 调焦系统 |
| 文章编号： | 1004-373X(2007)06-188-02 |
| 修稿时间： | 2006年7月19日 |
Focusing-servo System Based on LabView |
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| LIU Yang,XIONG Mudi,GAO Song.Focusing-servo System Based on LabView[J].Modern Electronic Technique,2007,30(6):188-190. |
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| Authors: | LIU Yang XIONG Mudi GAO Song |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LabView |
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