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| NH3/SiH4流量比对多晶硅/氮化硅复合层电池光电性能的影响研究 | |
| 引用本文： | 赵浩峰,王玲,谢爱根,颜开,吴红艳,刘斌,黄廷立,肖育辉. NH3/SiH4流量比对多晶硅/氮化硅复合层电池光电性能的影响研究[J]. 中国激光, 2008, 35(s2): 328-330 |
| 作者姓名： | 赵浩峰 王玲 谢爱根 颜开 吴红艳 刘斌 黄廷立 肖育辉 |
| 作者单位： | 赵浩峰:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 王玲:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 谢爱根:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 颜开:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 吴红艳:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 刘斌:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 黄廷立:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 肖育辉:南京信息工程大学数理学院材料物理系, 江苏 南京 210044 |
| 摘 要： | SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用, 越来越广泛地应用于晶硅太阳电池的制造工艺中。用等离子体化学气相沉积(PECVD)法, 通过改变流量比、气体总量及基底温度等工艺参数沉积SiN薄膜, 研究了流量比对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响。实践表明, NH3/SiH4气体流量比为11.5∶1时电池材料具有最佳的光电性能。 |
| 关 键 词： | 太阳电池 多晶硅/氮化硅复合层 光电转化效率 少子寿命 |
Effect of 3/SiH4 Flow Rate Ratio on the Performance of Polysilicon/SiN Composite Solar Cell |
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| Abstract: | SiN thin film has the passive role and the good nature of reducing the reflection, so it already be widely applied in the crystal silicon solar cell's fabrication technology. This paper deals with effect of NH3/SiH4 on the performance of solar cell. The test results show that NH3/SiH4 gas ratio affect the transforming efficiency and minority carrier lifetime of solar cell and optimized NH3/SiH4 is 11.5∶1. |
| Keywords: | solar cells poly-silicon/ SiN composite opto-electronic transforming efficiency minority carrier lifetime |