| 光栅辅助超窄带多光谱等离子体共振传感器结构的仿真分析 |
| |
| 引用本文： | 钟旭,伍铁生,王学玉,张慧仙,刘智慧,杨丹,杨祖宁,刘岩,刘锐.光栅辅助超窄带多光谱等离子体共振传感器结构的仿真分析[J].激光与光电子学进展,2022(11):193-200. |
| |
| 作者姓名： | 钟旭 伍铁生 王学玉 张慧仙 刘智慧 杨丹 杨祖宁 刘岩 刘锐 |
| |
| 作者单位： | 1. 桂林电子科技大学信息与通信学院广西无线宽带与信号处理重点实验室;2. 深圳大学光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室;3. 北京邮电大学电子工程学院 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（61805051）；;广西自然科学基金（2018JJB170035,2018AD19071,2019GXNSFFA245002,2020JJA170047）； |
| |
| 摘 要： | 半峰全宽(FWHM)是影响传感器性能的重要因素，为了提高表面等离子体共振传感器的品质因数，提出了一种光栅辅助超窄带多光谱等离子体共振传感器结构。该结构由周期性交替的SiO2与Au矩形纳米柱构成，并置于SiO2/Al2O3薄膜层上。利用全矢量有限元法对该结构的传输特性及传感特性进行数值仿真，分析了结构参数及入射光偏振态对FWHM和传感特性的影响。仿真结果表明，在800～1100 nm波长范围内，该传感器的传输谱存在两个由光栅衍射及等离子体共振形成的凹点，相应的FWHM分别为0.35 nm及0.59 nm，折射率灵敏度分别为525.7 nm/RIU、475.7 nm/RIU，品质因数分别为1502.00 RIU-1和806.27 RIU-1，在生物检测、药物筛选、膜生物学等领域具有潜在的应用前景。
|
| 关 键 词： | 光栅 表面等离子体共振 半峰全宽 折射率传感 |
|
|
