| 用热应力法研究二氧化碲晶体表面连接层材料的特性 |
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| 引用本文： | 付秀华,潘永刚,董军,刘冬梅,张静.用热应力法研究二氧化碲晶体表面连接层材料的特性[J].光子学报,2016(1):31-35. |
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| 作者姓名： | 付秀华 潘永刚 董军 刘冬梅 张静 |
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| 作者单位： | 1. 长春理工大学光电工程学院,长春,130022;2. 长春一东离合器股份有限公司,长春,130012 |
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| 基金项目： | 重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助 The Major Scientific and Technological Projects(No.20140203002GX) |
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| 摘 要： | 以声光晶体TeO_2为衬底,设计并研制了1 300~3 400nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发,建立膜层热应力受力示意图,结合TeO_2晶体的特性和力矩判定方法,采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明:所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下,采用连接层所制备的薄膜附着力更好,可以解决脱膜问题,满足相应的附着力检测要求.
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| 关 键 词： | 薄膜 红外减反射膜 真空电子束镀膜 TeO2晶体 薄膜热应力 力矩判定 声光可调滤波器 |
The Characteristic of Connecting Layer Material on TeO2 Crystal Surface by Thermal Stress Method |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Film Infrared antireflection coating Electron beam vacuum coating TeO2 crystal Thin film thermal stress Torque determination method Acousto-optic tunable filter |
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