| 光激励微型悬臂梁谐振器 |
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| 引用本文： | 顾利忠,蔡庆胜,胡轶.光激励微型悬臂梁谐振器[J].应用激光,1991(5). |
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| 作者姓名： | 顾利忠 蔡庆胜 胡轶 |
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| 作者单位： | 清华大学自动化系，清华大学自动化系，清华大学自动化系 |
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| 摘 要： | 介绍一种全新的光激励微型悬臂梁谐振器,谐振器的振动可以用激光反馈干涉的方法进行测量。
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| 关 键 词： | 悬臂梁谐振器 |
Optically-Excited Micro-Cantilever Beam Resonator |
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| Gu Lizhong Cai Qingsheng Hu Yi.Optically-Excited Micro-Cantilever Beam Resonator[J].Applied Laser,1991(5). |
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| Authors: | Gu Lizhong Cai Qingsheng Hu Yi |
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| Abstract: | This paper presents a rovel optically-excited microcantilever beam resonator,thevibration of the resonator can be measured by using laser feedback interferometric method. |
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| Keywords: | cantilever beam resonator |
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