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| 多弧离子镀沉积Ti/TiN多层膜的力学和摩擦学性能 | |
| 引用本文： | 戴剑锋,史鑫,吴贵智,张广安.多弧离子镀沉积Ti/TiN多层膜的力学和摩擦学性能[J].兰州理工大学学报,2018(2). |
| 作者姓名： | 戴剑锋 史鑫 吴贵智 张广安 |
| 作者单位： | 兰州理工大学理学院;甘肃省科学院传感技术研究所;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 |
| 摘 要： | 采用多弧离子镀沉积了TiN单层薄膜和Ti/TiN多层膜,利用XRD、SEM对样品的物相结构和截面形貌进行表征,使用原子力显微镜、纳米硬度仪对其力学性能进行分析,同时采用摩擦试验机对其摩擦学性能进行了综合评价.结果表明:Ti/TiN多层膜组织结构致密,力学性能优良,相比于TiN单层薄膜,摩擦系数下降,磨损率降低了一个数量级,具有良好的减摩耐磨性. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |