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| 氧化铁薄膜制备方法的改进 | |
| 作者姓名： | 周增均 |
| 作者单位： | 北京大学物理系 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京中关村地区联合分析测试中心的支持． |
| 摘 要： | 氧化铁薄膜具有很高的极限磁记录密度．然而，单相四氧化三铁薄膜的制备却对工艺条件十分敏感，并且成膜的饱和磁化强度也远低于块状样品．在溅射过程中引入水蒸气、氧气和氩气的混合气体，一方面可以大大拓宽单相四氧化三铁薄膜的制备条件，另一方面也使得饱和磁化强度增加到４５０ ｅｍｕ／ｃｍ~３以上．本文对不同的氧化铁薄膜制备方法及磁性等进行了比较． |
| 关 键 词： | 氧化铁 薄膜 制备 |
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