| 三氧化钼薄膜的制备和结构研究 |
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| 引用本文： | 孙杰兵,熊锐,王世敏,汤五丰,石兢,田德诚. 三氧化钼薄膜的制备和结构研究[J]. 武汉大学学报(理学版), 2002, 48(5): 589-592 |
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| 作者姓名： | 孙杰兵 熊锐 王世敏 汤五丰 石兢 田德诚 |
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| 作者单位： | 1. 武汉大学,物理科学与技术学院,湖北,武汉430072
2. 湖北大学,化学与材料学院,湖北,武汉430062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助课题 (5 9872 0 2 3 ) |
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| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法成功制备了三氧化钼（MoO3)薄膜，首先，以CH3COCH2COCH3，MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶。凝胶的热重和差热分析（TG－DTA）显示三氧化钼的晶化出现在508℃附近的140℃范围内。其次，利用旋转涂布法在硅（111）基片上通过450℃退火处理制备了三氧化钼薄膜。XRD和FTIR谱表明薄膜为α－MoO3相。SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密，在基片表面无择优取向；晶粒尺度范围在0．5－1μm之间。
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| 关 键 词： | 制备 溶胶－凝胶法 三氧化钼薄膜 旋转涂布法 薄膜结构 晶粒分布 晶粒尺度 |
| 文章编号： | 0253-9888(2002)05-0589-04 |
Preparation and Structure Study Molybdenum Oxide Thin Films by Sol-Gel Process |
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| SUN Jie|bing ,XIONG Rui ,WANG Shi|min ,TANG Wu|feng ,SHI Jing ,TIAN De|cheng. Preparation and Structure Study Molybdenum Oxide Thin Films by Sol-Gel Process[J]. JOurnal of Wuhan University:Natural Science Edition, 2002, 48(5): 589-592 |
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| Authors: | SUN Jie|bing XIONG Rui WANG Shi|min TANG Wu|feng SHI Jing TIAN De|cheng |
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| Affiliation: | SUN Jie|bing 1,XIONG Rui 1,WANG Shi|min 2,TANG Wu|feng 1,SHI Jing 1,TIAN De|cheng 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol|gel process molybdenum oxide thin films |
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