| 一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式 |
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| 引用本文： | 林滢,薛虹.一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式[J].微细加工技术,2002(4):14-20,31. |
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| 作者姓名： | 林滢 薛虹 |
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| 作者单位： | 中科院电工所微纳电加工研究院,北京,100080 |
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| 摘 要： | 在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式。该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的。它采用Niklans Wirth的表示方法进行定义，消除了二义性。经过实验性的程序验证，它不仅能很好地解决版图制造业标准数据格式不支持二次曲线的问题，而且图形设计人员可以直接以该数据作为标准，进行曝光图形的设计与存储。该数据格式的出现，为二次曲线单元图形在电子束曝光技术中的广泛应用奠定了良好的基础。
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| 关 键 词： | 电子束曝光机 中间图形 数据格式 二次曲线单元图形 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)04-0014-07 |
A New Intermediate Pattern of Electron Beam Lithography and Its Data Format |
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| LIN Ying,XUE Hong.A New Intermediate Pattern of Electron Beam Lithography and Its Data Format[J].Microfabrication Technology,2002(4):14-20,31. |
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| Authors: | LIN Ying XUE Hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | conic primitive intermediate pattern data format conversion electron beam lithography |
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