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| 光电子技术与器件 光显示与显示器件 | |
| 摘 要： | TN141.92006054483自控液晶光阀组式光刻快门研究=Auto-controlled liquidcrystal light valve arrays as photolithography shutter[刊,中]/陈赟(中科院长春光机所.吉林,长春(130033))//光子学报.—2006,35(5).—783-786通过理论推导,构建了抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的数学模型,为液晶光阀代替穿孔带提供了理论依据。结合液晶光阀的工作原理和光刻快门的控制原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图。通过实际光刻试验,自控液晶光阀组光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计要求,刻出的… |
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