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| 溅射无定形硅的紫外-可见椭圆偏振光谱和光学常数 | |
| 作者姓名： | 陈树光 江任荣 莫党 |
| 作者单位： | 中山大学物理系(陈树光，江任荣)，中山大学物理系(莫党) |
| 基金项目： | 中国科学院科学基金的资助 |
| 摘 要： | 利用作者试制的紫外-可见椭圆偏振光谱仪研究了溅射无定形硅薄膜的光学性质,获得了不同氢分压制备的无定形硅在紫外至可见光谱范围内的n～λ、k～λ等关系,并对结果进行了讨论. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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