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| 5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究 | |
| 作者姓名： | 康平 张振志 周志强 韦勇 张寒贫 杜小红 陈建 张庆海 成肇安 |
| 作者单位： | 国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006;国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006 |
| 基金项目： | 江苏省技术开发专题项目资金(BE2002518) |
| 摘 要： | 本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证. |
| 关 键 词： | φ5英寸钽酸锂 上称重 铱坩埚 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）06-1388-04 |
| 收稿时间： | 2006-06-12 |
| 修稿时间： | 2006-06-12 |
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