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薄膜多层布线的工艺优化
引用本文:
李艳霞.薄膜多层布线的工艺优化[J].混合微电子技术,1998,9(3):22-24.
作者姓名:
李艳霞
摘 要:
本文对薄膜多层布线技术中介质界面及介质通孔进行研究,分析讨论了介质表面状 及通孔的填充对薄膜多层布线的影响。
关 键 词:
多层布线
界面
通孔
混合集成电路
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