| 聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究 |
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| 引用本文： | 赵慧斌,任权,韩立.聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究[J].微细加工技术,2007(3):30-33. |
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| 作者姓名： | 赵慧斌 任权 韩立 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院电工研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚酰亚胺薄膜表面,在薄膜微纳米区域内产生电荷分布.通过静电力显微镜对微纳米区域产生的电荷进行表征,得出探针摩擦速度、探针电压对表面电荷的极性、密度、区域分布有很大的影响.同时也为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成规律和机理提供了一个新的研究方法和途径.
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 表面电荷 扫描探针显微镜 静电力显微镜 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)03-0030-04 |
| 修稿时间： | 2007年1月31日 |
Study on Properties of Surface Charges on Polyimide Film in Micro-Nanometer Scale |
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| ZHAO Hui-bin,REN Quan,HAN Li.Study on Properties of Surface Charges on Polyimide Film in Micro-Nanometer Scale[J].Microfabrication Technology,2007(3):30-33. |
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| Authors: | ZHAO Hui-bin REN Quan HAN Li |
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