| 非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）北大核心 |
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| 引用本文： | 张强,刘瑞文,吕文龙,侯影,魏德波,刘超,薛惠琼,傅剑宇,王玮冰.非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）北大核心[J].微纳电子技术,2018(9):617-624. |
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| 作者姓名： | 张强 刘瑞文 吕文龙 侯影 魏德波 刘超 薛惠琼 傅剑宇 王玮冰 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院微电子研究所智能感知研究发展中心100029;2.中国科学院物联网研究发展中心214028;3.中国科学院大学100049;4.昆山光微电子有限公司215325; |
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| 基金项目： | National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008)；National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605)；Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933) |
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| 摘 要： | 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
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| 关 键 词： | 电压温度系数(VTC) pn结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA) 灵敏度 微电子机械系统(MEMS) |
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