基底材料对溶胶-凝胶法制备BST薄膜的影响

利用溶胶-凝胶法在Si、SiO2/Si、刚玉粉处理过的Si和ZnO/Si基底上制备了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜。采用XRD、SEM等测试方法研究了基底种类对BST薄膜的结晶度及显微结构的影响。结果表明:经750℃热处理后BST薄膜都形成了完整的钙钛矿结构;与Si基底相比,BST薄膜与SiO2/Si基底晶格匹配度较小,结晶度和介电性能较差;而与刚玉粉处理过的Si基底和ZnO/Si基底匹配度较高,且沉积的BST薄膜结晶度高,晶粒发育较完善,晶粒间排列紧密,表面光滑无裂纹,其介电性能也较好。