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| 微流路生物芯片的研制 | |
| 引用本文： | 伊福廷,姜雄平,彭良强,张菊芳,韩勇.微流路生物芯片的研制[J].微纳电子技术,2003,40(7):356-358,361. |
| 作者姓名： | 伊福廷 姜雄平 彭良强 张菊芳 韩勇 |
| 作者单位： | 1. 中科院高能物理研究所同步辐射室,北京,100039 2. 总后卫生部药品仪器检验所,北京,100071 |
| 摘 要： | 运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽70μm、深30μm、长7cm的沟槽，与另一载玻片键合，形成一微流路沟道，研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中，克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用，能够满足应用中的基本性能要求。 |
| 关 键 词： | 微流路生物芯片 电泳技术 微结构 生物电泳技术 微流路芯片 毛细管电泳芯片 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0356-03 |
The research of biochip for electrophoresis |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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