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非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度
引用本文:程路,萧季驹. 非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度[J]. 物理学报, 1990, 39(1): 10-17
作者姓名:程路  萧季驹
作者单位:南开大学物理系,天津,300071;香港城市理工学院应用科学系
摘    要:本文将文献[1-5]的用激光测量表面粗糙度的“核-环比”法推广到采用其他非相干光源,给出测量原理的定量公式及测量装置的结构框图。


"CORE RING-RATIO" METHOD FOR SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT WITH INCOHERENT LIGHT SOURCE
CHENG LU and SIU GUEI-GU. "CORE RING-RATIO" METHOD FOR SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT WITH INCOHERENT LIGHT SOURCE[J]. Acta Physica Sinica, 1990, 39(1): 10-17
Authors:CHENG LU and SIU GUEI-GU
Abstract:This work extends the "Core-Ring-Ratio" method for surface roughness mea-surement[1-5] from the case using coherent light source to the case using incoherent source (i. e., extended non-monochromatic light source). The formulas of the principle of measurement and the schematic diagram of the measuring device are presented.
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