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| 液氮冷却法全无机智能窗器件的制备及其性能研究 | |
| 引用本文： | 王怀义,刁训刚,王武育,杨海刚,郝维昌,王聪,王天民.液氮冷却法全无机智能窗器件的制备及其性能研究[J].光学学报,2009,29(5). |
| 作者姓名： | 王怀义 刁训刚 王武育 杨海刚 郝维昌 王聪 王天民 |
| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学理学院,北京,100083;北京印刷学院基础部,北京,102617 2. 北京航空航天大学理学院,北京,100083 3. 北京有色金属研究总院,北京,100088 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973计划) |
| 摘 要： | 为降低溅射过程中摹片温度的上升,进而成功制备非晶多孔、纳米微晶态电致变色薄膜和非晶态离子导电薄膜,介绍了一种配置于磁控溅射设备的液氮冷却装置.利用该装置制备了由WO3、NiOx和LiNbO3 薄膜组成的单基片全无机电致变色智能窗器件.采用分光光度计对该器件的电致变色性能进行了测试,并计算了它的漂白和着色态在400 nm到800 nm波长范围内的平均透射率.实验结果表明,经过50次循环后,该器件的漂白和着色态的平均透射率分别为61.5%和5.5%.X射线衍射和扫描电镜(SEM)图像显示,组成该器件的WO2、NiOx和LiNbO3薄膜分别为非晶多孔、纳米微晶和非晶态结构. |
| 关 键 词： | 薄膜 磁控溅射 液氮冷却 全固态 电致变色 智能窗 |
Fabrication of All-Inorganic Smart Window Device by Cooling Substrate with Liquid Nitrogen and Study on Its Performance |
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| Wang Huaiyi,Diao Xungang,Wang Wuyu,Yang Haigang,Hao Weichang,Wang Cong,Wang Tianmin.Fabrication of All-Inorganic Smart Window Device by Cooling Substrate with Liquid Nitrogen and Study on Its Performance[J].Acta Optica Sinica,2009,29(5). | |
| Authors: | Wang Huaiyi Diao Xungang Wang Wuyu Yang Haigang Hao Weichang Wang Cong Wang Tianmin |
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| Keywords: | |
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