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| 抗高频放电对热偶干扰的有效途径 | |
| 引用本文： | 邹永庆.抗高频放电对热偶干扰的有效途径[J].物理实验,1988(5). |
| 作者姓名： | 邹永庆 |
| 作者单位： | 合肥工业大学应用物理系 |
| 摘 要： | 实验在高频辉光放电淀积半导体薄膜时,必须对淀积该膜的衬底温度进行测量和控制,因此采用热偶测量控制仪器是十分可行的。然而在高频辉光放电等离子体环境中,热偶受到了严重的干扰,使测温指示控制仪上的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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