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| 集成光学 光波导材料与制备 | |
| 摘 要： | TN252 2005053604 制作聚台物光波导的铝掩模工艺=Aluminum mask for tabrication of polymeric optical waveguide刊,中]／赵禹 (中兴通讯股份有限公司．广东,深圳(518057)),张大明… ∥半导体光电．-2005,26(3)．-208-211 针对聚合物波导制备中的关键技术-刻蚀掩模,进行 了系统的研究。以铝为例,利用原子力显微镜和光电子能 谱,详细地分析并讨论了在聚合物表面溅射镀铝对芯层波 导的影响。明确指出,溅射会在聚合物表面形成一层金属 包层,从而在器件中引入额外的吸收损耗并对此进行了计 算,同时给出解决的办法。最后,总结出最佳的工艺流程。 图5参21(于晓光) |
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