| 基于楔形微透镜补偿半导体激光阵列指向偏差 |
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| 引用本文： | 孟娇,曹银花,秦文斌,刘友强,李景,郭照师,兰天,关娇阳,潘建宇,王智勇.基于楔形微透镜补偿半导体激光阵列指向偏差[J].激光与红外,2021,51(6):760-765. |
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| 作者姓名： | 孟娇 曹银花 秦文斌 刘友强 李景 郭照师 兰天 关娇阳 潘建宇 王智勇 |
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| 作者单位： | 北京工业大学 材料与制造学部先进半导体光电技术研究所,北京 100124 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(No.51975017)资助。 |
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| 摘 要： | 针对半导体激光阵列的发光单元指向性偏差导致快轴光束质量显著劣化的现象,研究了发光单元指向性偏差对快轴光束质量的影响,提出了一种利用微光学元件补偿发光单元指向性偏差的方法,设计了一种楔形微透镜阵列,可实现单个bar条的光束耦合进芯径200μm、NA=02的光纤。模拟计算结果表明,楔形微透镜阵列的补偿作用可使半导体激光阵列快轴方向的光参数积由6424mm·mrad下降到5814mm·mrad,光纤耦合效率达到956,相比补偿前提高了104。为降低工艺难度,采用分类补偿的方法,模拟光纤耦合效率达到915。考虑到工业应用,采用由三片楔形透镜组成的透镜组对分类后的发光单元光束分别进行补偿,测量得到的光纤耦合效率为904,比补偿光束指向性之前的耦合效率提高了约7。
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| 关 键 词： | 半导体激光阵列 发光单元指向性 楔形微透镜 光束质量 |
| 修稿时间： | 2020/8/26 0:00:00 |
Compensation of directivity deviation of laser diodebased on the wedge shaped microlens array |
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| MENG Jiao,CAO Yin-hu,QIN Wen-bin,LIU You-qiang,LI Jing,GUO Zhao-shi,LAN Tian,GUAN Jiao-yang,PAN Jian-yu,WANG Zhi-yong.Compensation of directivity deviation of laser diodebased on the wedge shaped microlens array[J].Laser & Infrared,2021,51(6):760-765. |
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| Authors: | MENG Jiao CAO Yin-hu QIN Wen-bin LIU You-qiang LI Jing GUO Zhao-shi LAN Tian GUAN Jiao-yang PAN Jian-yu WANG Zhi-yong |
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| Institution: | Institute of Advanced Technology on Semiconductor Optics & Electronics,Institute of Materials and Manufacturing,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China |
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