Ⅱ类超晶格红外探测器技术概述(二) |
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引用本文: | 尚林涛,王静,邢伟荣,刘铭,申晨,周朋,赵建忠.Ⅱ类超晶格红外探测器技术概述(二)[J].激光与红外,2021,51(5):548-553. |
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作者姓名: | 尚林涛 王静 邢伟荣 刘铭 申晨 周朋 赵建忠 |
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作者单位: | 华北光电技术研究所,北京 100015 |
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摘 要: | 简要归纳总结了Ⅱ类超晶格材料的生长、器件制备方法以及最近新型Ⅱ类超晶格材料体系的演化。Ⅱ类超晶格理论和工艺技术不断取得进步和完善并呈现出材料体系多样化和更高的性能。虽然目前及今后较长时间内HgCdTe技术仍然是市场主流,但是Ⅱ类超晶格技术在整体系统性能和成本上可以挑战HgCdTe,Ⅱ类超晶格技术将在红外应用领域全方位替代HgCdTe技术的优势已经越来越清晰。
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关 键 词: | Ⅱ类超晶格 Type-Ⅱ T2SL SLS 生长及制备 |
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