MEMS结构的实体建模和分析

实体建模工具帮助MEMS设计人员简化设计流程并最大限度地利用有限元分析软件。相关的掩膜定义给MEMS设计人员提供了更强大的设计能力，使得设计人员能够专注于3D中微米级的结构，而且使得掩膜遵从设计。选择实体建模工具对于MEMS设计的成功至关重要。设计人员可以使用SolidWorks设计MEMS结构，加以分析、生成掩膜，并设计所有相关的产品封装和装配设备。