| 微波集成电路技术——回顾与展望 |
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| 引用本文： | 顾墨林,林守远.微波集成电路技术——回顾与展望[J].微波学报,2000,16(3):278-290. |
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| 作者姓名： | 顾墨林 林守远 |
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| 作者单位： | 顾墨琳（南京电子技术研究所，南京 210013）;林守远（南京电子技术研究所，南京 210013） |
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| 摘 要： | 半个多世纪来，微波电路技术经历了从分立电路、两维微波集成电路、三维微波集成电路等阶段。在回顾这一发展历程后，介绍多层微波集成电路和三维微波集成电路。阐述其产生背景、关键技术及发展方向。文中将涉及微加工技术以及从直流至射频的多芯片全集成新概念。瞻望二十一世纪前景。
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| 关 键 词： | 微波集成电路 微加工 多芯片模块 微波电路 |
| 修稿时间： | 1999年12月5日 |
Microwave Integrated
Circuit Technology Retrospect and Prospect |
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| GU Molin.Microwave Integrated
Circuit Technology Retrospect and Prospect[J].Journal of Microwaves,2000,16(3):278-290. |
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| Authors: | GU Molin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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