电子束在LB抗蚀层及衬底中散射轨迹的Monte—Carlo模拟 |
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引用本文: | 鲁武,顾宁.电子束在LB抗蚀层及衬底中散射轨迹的Monte—Carlo模拟[J].计算物理,1994,11(3):297-302. |
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作者姓名: | 鲁武 顾宁 |
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摘 要: | 研究了高能电子束在LB膜及多层膜中的输运特性,用Monte-Carlo技术模拟电子在LB聚甲基丙燃酸甲酯抗蚀层及蒸镀有铬膜的硅衬中的散射轨迹,并讨论了电子束曝光刻蚀应用LB膜作抗蚀层的优越性。
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关 键 词: | 电子散射 LB膜 蒙特卡罗模拟 |
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