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| 利用LIGA技术研制超微步进电机 | |
| 引用本文： | 伊福廷,彭良强,张菊芳,韩勇.利用LIGA技术研制超微步进电机[J].北京同步辐射装置,2001(2):93-95. |
| 作者姓名： | 伊福廷 彭良强 张菊芳 韩勇 |
| 作者单位： | 中国科学院高能物理研究所，北京100039 |
| 摘 要： | 文章慨述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成．线圈由手工在显微镑下绕制完成，转子直径2mm．整个电机直径5mm。 |
| 关 键 词： | LIGA 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 研制 光刻 电铸 塑铸 |
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