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| 富硅硅化剂N,N-二甲胺基五甲基二硅烷的合成 | |
| 引用本文： | 胡春野 郭哲. 富硅硅化剂N,N-二甲胺基五甲基二硅烷的合成[J]. 化学通报, 1998, 0(1): 33-35 |
| 作者姓名： | 胡春野 郭哲 |
| 作者单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 摘 要： | 富硅硅化剂Ｎ，Ｎ┐二甲胺基五甲基二硅烷的合成胡春野郭哲（中国科学院化学研究所北京１０００８０）Ｎ，Ｎ－二甲胺基五甲基二硅烷作为一种新型富硅硅化剂，最近在干法正片深紫外微电子刻蚀技术中显示出重要的应用前景［１］。由于该试剂没有商业产品，我们在实验室进行... |
| 关 键 词： | 二甲胺基 五甲基 二硅烷 富硅硅化剂 |
| 修稿时间： | 1997-06-05 |
A Silicon-Rich Silylating Reagent: Synthesis of (N, N-dimethylamino) Pentamethyldisilane |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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