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轻金属上TiCN和ZrCN的等离子体CVD

引用本文：	马兵.轻金属上TiCN和ZrCN的等离子体CVD[J].等离子体应用技术快报,2000(3):7-8.

作者姓名：	马兵

摘要：
关键词：	轻金属 TiCN ZrCN 等离子CVD 薄膜
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