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金刚石薄膜的新合成方法

引用本文：	犬冢直夫,王景义.金刚石薄膜的新合成方法[J].微细加工技术,1990(2):41-46.

作者姓名：	犬冢直夫王景义

摘要：
关键词：	金刚石薄膜合成
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