| ZnO单晶的缺陷及其对材料性质的影响 |
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| 引用本文： | 魏学成,赵有文,董志远,李晋闽.ZnO单晶的缺陷及其对材料性质的影响[J].半导体学报,2006,27(10). |
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| 作者姓名： | 魏学成 赵有文 董志远 李晋闽 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用X射线衍射技术、荧光光谱、霍尔效应和光学显微等方法分别研究了ZnO单晶的晶格完整性、深能级缺陷、电学性质、位错和生长极性.通过比较ZnO单晶材料在退火前后的测试结果,分析了材料的缺陷属性和缺陷对材料性质、晶体完整性的影响.
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| 关 键 词： | ZnO 缺陷 单晶 |
Defects and Their Influence on Properties of Bulk ZnO Single Crystal |
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| Wei Xuecheng,Zhao Youwen,Dong Zhiyuan,Li Jinmin.Defects and Their Influence on Properties of Bulk ZnO Single Crystal[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(10). |
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| Authors: | Wei Xuecheng Zhao Youwen Dong Zhiyuan Li Jinmin |
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